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極大規模集成電路含氟電子氣體實現國產化 年產量可達2000噸(股)

  8月14日,國務院國資委官網發布消息,由中國化工黎明化工研究設計院承擔的國家科技重大專項項目“高純四氟化碳和六氟化硫研發與中試”通過國家重大專項項目組測試與評審,標志著我國極大規模集成電路行業所需高純度含氟電子氣體實現國產化。目前,黎明院高純四氟化碳和六氟化硫的年產能可達2000噸,可完全實現對進口產品的替代。

  集成電路是信息社會的根基。高純度含氟電子氣體是極大規模集成電路行業必需的清洗和蝕刻氣體,在芯片制作過程中保障極大規模集成電路的生成,確保電路有效發揮作用。隨著極大規模集成電路技術的提升,芯片制程向14納米甚至7納米邁進,對電子氣體的純度要求越來越高。

  相關上市公司:

  南大光電(行情300346,診股):通過控股山東飛源氣體有限公司切入氟系電子特氣市場,后者含氟電子氣體已向國際領先企業批量供貨,并已完成多種關鍵含氟電子材料的產業化準備;

  華特氣體(行情688268,診股):旗下有含氟電子氣體產品。

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